热喷涂法

2023-07-18


热喷涂法是一种使用非常高的喷射气压依靠惯性点火来形成粉末的方式,再加热硬化到所需的状态的方法。其中制备过程分为喷射和烘干两个步骤。针对陶瓷靶材的要求,选取符合要求的陶瓷粉末,并用喷枪将陶瓷粉末喷射到基底或衬底上。其次,在添加金属氧化物或陶瓷氧化物时,使颗粒的温度升高到粉末致密度达到所需用途的硬度。但这种方法的处理时间长、需要特殊的设备和技术,所以制备成本较高。

 

总之,各种制备陶瓷靶材的方法各有不同的优缺点,需要根据实际要求进行选择。机械法和反应烧结法制备出来的陶瓷靶材成本相对较低,制备过程相对简单;而热喷涂法制备的陶瓷靶材具有高品质,但成本较高。无论采用哪种方法,制备出来的陶瓷靶材都必须具有良好的性能,才能满足各种应用的要求。

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