什么是陶瓷靶材?

2023-07-18


陶瓷靶材是由高纯度陶瓷材料制成的目标器材,主要用于制造半导体、光电子、涂料、化学材料等领域中的薄膜材料。其制造基本工艺是利用高温、高压等特殊条件,将原料制成具有一定形状和尺寸的靶材,然后在制备过程中,靶材会不断失去质量、不断地被蚀刻,直到成为需要的薄膜。

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