旋转靶材与平面靶材的对比

2023-07-18


旋转靶材与平面靶材是薄膜沉积领域中常用的两种靶材形式。理解和掌握它们之间的差异和特点对于研究和应用薄膜技术具有重要意义。以下将对旋转靶材与平面靶材进行对比,并详细介绍它们的特点和应用。

 

从形状上来看,旋转靶材呈圆柱形状,可以通过旋转靶材自身的转动来增加薄膜的均匀性;而平面靶材则是具有平整表面的矩形形状。

 

在制备工艺上,旋转靶材通常需要先将目标材料粉末压制成块状,并进行烧结,然后再进行旋转加工,形成所需的靶材形式。平面靶材则可以直接从材料块中切割出来,制备相对简单。

 

旋转靶材与平面靶材的区别在于沉积薄膜的方式。在旋转靶材沉积过程中,靶材会不断旋转,使得目标物质不断地从靶材表面放出,成为薄膜的一部分。而平面靶材则是通过靶材表面直接放出物质,沉积到基底上形成薄膜。

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